壓力感測器有哪些誤差是無法避免的•↟◕？

　　壓力感測器是利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關係的電量輸出的一類感測器│₪╃₪。一般採用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極│◕•，當薄膜感受壓力而變形時│◕•，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化│◕•，透過測量電路即可輸出與電壓成一定關係的電訊號│◕•，從而獲得所測氣體壓力的變化│◕•，達到測量壓力的目的│₪╃₪。主要功能是能感受壓力訊號│◕•，並能按照一定的規律將壓力訊號轉換成可用的輸出的電訊號的器件或裝置│₪╃₪。該感測器通常由壓力敏感元件和訊號處理單元組成│₪╃₪。

　　壓力感測器哪些誤差是無法避免的•↟◕？

　　首先的偏移量誤差◕·：由於壓力感測器在整個壓力範圍內垂直偏移保持恆定│◕•，因此變換器擴散和鐳射調節修正的變化將產生偏移量誤差│₪╃₪。

　　其次是靈敏度誤差◕·：產生誤差大小與壓力成正比│₪╃₪。如果裝置的靈敏度高於典型值│◕•，靈敏度誤差將是壓力的遞增函式│₪╃₪。如果靈敏度低於典型值│◕•，那麼靈敏度誤差將是壓力的遞減函式│₪╃₪。該誤差的產生原因在於擴散過程的變化│₪╃₪。

　　第三是線性誤差◕·：這是一個對壓力感測器初始誤差影響較小的因素│◕•，該誤差的產生原因在於矽片的物理非線性│◕•，但對於帶放大器的感測器│◕•，還應包括放大器的非線性│₪╃₪。線性誤差曲線可以是凹形曲線│◕•，也可以是凸形曲線稱重感測器│₪╃₪。

　　最後是滯後誤差◕·：在大多數情形中│◕•，壓力感測器的滯後誤差可以忽略不計│◕•，因為矽片具有很高的機械剛度│₪╃₪。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯後誤差│₪╃₪。